日経エレクトロニクス 1998/09/21号

新製品ニュース 部品・材料・製造装置
発振波長が266nmの紫外SHGレーザ, 光出力は20mW

 ソニー・プレシジョン・テクノロジーは,発振波長が266nmの紫外SHG(第二高調波発生:second harmonic generation)レーザ「UW─1020」をソニーと共同で開発し,1998年10月15日に発売する。ウエーハ材料の表面検査用光源や光学顕微鏡の光源,高密度光ディスクのマスタリング装置などに使える。 開発したレーザは,SHG素子を2段階組み合わせた構造になっている。(71ページ掲載記事から抜粋) *テキスト版記事の文字数:605文字

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ソニー
ソニー・プレシジョン・テクノロジー
update:19/09/26