日経エレクトロニクス 2001/06/18号

ニュース・ダイジェスト
キヤノン,300mmSOIウエーハの生産ライン

 キヤノンは,300mmのSOI(silicon on insulator)ウエーハの生産ラインを建設する。26億円を投じて,同社の研究・開発・生産拠点である神奈川県の平塚事業所に設置する。300mm径のSOIウエーハ生産ラインは「世界で初めて」(同社)という。生産能力は当初年産1万6000枚を予定し,2003年には同8万枚まで拡大する計画である。(45ページ掲載記事から抜粋) *テキスト版記事の文字数:246文字

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キヤノン
update:19/09/26