日経エレクトロニクス 2001/08/27号

特集 ムーアの法則にはもう頼らない
ムーアの法則にはもう頼らない

 Cuは,従来のAlに代わる配線材料。Cuの抵抗率(1.67×10−6Ω・cm)は,Alの抵抗率(2.66×10−6Ω・cm)の60%程度と低いため,配線遅延を減らす手段の1つとしてCu配線が注目されている。 微細化の進展とともに,配線を通る信号の遅延が高速化に対して大きな問題になっている。配線遅延は,配線の抵抗と配線間の容量の積に比例する。(112〜114ページ掲載記事から抜粋) *テキスト版記事の文字数:4091文字

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update:19/09/26