日経エレクトロニクス 2001/11/05号

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富士通研究所 LSIの寿命を2ケタ向上

 富士通研究所は,SiベースのLSIに重水素熱処理を施すことにより,寿命を2ケタ向上できることを見いだした。LSIのさらなる微細化によって電流密度が大幅に増加したときに効果を発揮すると期待する。水素熱処理を施した場合と比べて,LSI中のゲート部直下の原子配列が乱れにくくなり,寿命が伸びたという。(42ページ掲載記事から抜粋) *テキスト版記事の文字数:220文字

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関連カテゴリ・企業名
【記事に含まれる分類カテゴリ】
エレクトロニクス > CPU・LSI製品・技術 > IC・LSI
【記事に登場する企業】
富士通研究所
update:18/08/02