日経エレクトロニクス 2001/12/17号

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低コスト露光技術LEEPL ソニーが2004年に実用へ
Si材料のマスクが利用可能に

 「半導体の微細化が進むにつれ,製造コストが鰻登りに高くなる。従来の発想を一新した露光技術が必要だ」(ソニー 顧問 セミコンダクタネットワークカンパニー CTOの牧本次生氏)。半導体メーカーが露光装置やマスクの価格高騰に頭を抱えている(図1)。数年後にもLSIの製造コストが高くなり過ぎ,事実上微細化が進まなくなる可能性すらある。(33〜34ページ掲載記事から抜粋) *テキスト版記事の文字数:3667文字

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【記事に含まれる分類カテゴリ】
エレクトロニクス > エレクトロニクス設計・製造 > エレクトロニクス製造技術・装置
【記事に登場する企業】
ソニー
update:18/08/02