日経エレクトロニクス 2001/12/17号

New Products
非接触方式で,計測範囲は10nm〜700nm
ウエハー厚み計測装置

浜松ホトニクスは,非接触でウエハーの厚みを計測する装置「Optical MicroGauge C8125—01」を発売した。光の干渉を利用して計測する方式のため,パターン付きウエハーや保護フィルム付きウエハーを傷付けずに計測できる。厚みの計測範囲は10nm〜700nmで,繰り返し再現性は0.5nmである。(52ページ掲載記事から抜粋) *テキスト版記事の文字数:278文字

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浜松ホトニクス
update:19/09/26