日経ものづくり 2004/06号

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 日立製作所の日立研究所は,高精度位置決め直線駆動装置(トンネルアクチュエータ)で,直線駆動装置としては世界最高の加速度40G(重力加速度の40倍)を達成した。トンネルアクチュエータは,従来のリニアモータと比べて小型で,コストも低い。今後,半導体製造装置,小型精密加工機械などの生産性向上に役立てる。1〜2年後の実装置への適用を目指す。(148〜156ページ掲載記事から抜粋) *テキスト版記事の文字数:10435文字

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update:18/07/31