日経ものづくり 2004/07号

新製品 レーザ干渉計
DVDなどの量産ラインに対応 25mmの小口径の測定が可能
レーザ干渉計

 「Zygo PTI 250シリーズ」(米Zygo社)は,25mmの小口径の測定が可能な小型レーザ干渉計。デジタル家電や光学機器などの量産ラインでの検査に利用する。DVDやHDD,光学機器用のレンズといったデジタル家電や半導体などの形状検査での利用を想定している。価格は304万円(税別)から。 干渉縞じまを瞬時に検知する新しい測定方式「FlashPhaseアルゴリズム」を採用している。(148ページ掲載記事から抜粋) *テキスト版記事の文字数:457文字

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update:19/09/26