日経ものづくり 2005/05号

新製品 工業用顕微鏡
暗視野観察性能を従来の4倍に高め 高精度な欠陥検出を可能に
工業用顕微鏡

「MX51」は,暗視野観察性能などの光学特性を高めた工業用顕微鏡。素材や電子部品の検査向け。特に150mm以下の半導体ウエハーや磁気ヘッドの検査に有効という。 暗視野観察は,透過光や反射光ではなく,散乱光を集めることで対象物を観察する手法。照明光が直接対物レンズに入らないので,微細なキズまで検出できるが,視野全体の明るさを確保するのが難しくなる。(172ページ掲載記事から抜粋) *テキスト版記事の文字数:517文字

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update:19/09/26