日経バイト 2006/01号

BYTE Report リサーチ最前線
目指すは“ミクロ決死隊” 微小円筒表面への配線技術を開発

 東北大学先進医工学研究機構ナノメディシン分野 芳賀洋一助教授らの研究グループは,直径数mmの微小円筒表面に金属配線パターンなどを作製するリソグラフ技術を確立した。この10月に開かれた「第22回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム」で発表した。(18ページ掲載記事から抜粋) *テキスト版記事の文字数:1325文字

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update:19/09/25