日経エレクトロニクス 2007/02/12号

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マイク・オン・チップをMEMSで実現 急成長の可能性を秘める
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Siチップ上に作り込んだマイクロホンが関心を呼んでいる。標準CMOSプロセスにMEMS技術を適用したもので,大量生産に向き,小型で低価格に実現できるという。既存のコンデンサ・マイクを上回る性能を実現しており,応用先が大きく広がると予測する。(171〜175ページ掲載記事から抜粋) *テキスト版記事の文字数:3726文字

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【記事に含まれる分類カテゴリ】
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【記事に登場する企業】
米アクスティカ社
update:18/07/30