日経エレクトロニクス 2007/05/21号

解説 測定装置<共焦点顕微鏡>
3次元形状を迅速に取得太陽電池などに用途拡大
測定装置<共焦点顕微鏡>

微細な3次元形状を容易に観察・測定できる「共焦点顕微鏡」の用途が拡大している。これまではLSIや薄型ディスプレイといった分野で主に使われていたが,今後は光学フィルムや太陽電池,自動車といった分野にも用途が広がる。これらの分野は従来の技術では測定が難しいと考えられていたが,技術革新によって克服した。(95〜100ページ掲載記事から抜粋) *テキスト版記事の文字数:5926文字

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update:19/09/26