日経エレクトロニクス 2012/01/09号

NEレポート
出力50倍の振動発電素子 IMECがMEMS技術で実現
3mm角、1011Hzの出力電力は489μW

 ベルギーIMECとオランダHolst Centreは、振動のエネルギーから高い変換効率で電力を得る振動発電素子を開発した。MEMS技術を用いて、150mmのSOIウエハー上に作製した。素子寸法が3mm×3mm×1.7mm、振動周波数が1011Hzの場合に最大489μWの電力を出力するという。 一般に振動発電素子の出力は、その素子面積におおむね比例する。(13ページ掲載記事から抜粋) *テキスト版記事の文字数:1060文字

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【記事に登場する企業】
ベルギー・IMEC
update:19/09/26