日経エレクトロニクス 2012/01/09号

解説2
微細化は1Xnm世代へ 3次元・大面積化も活況
半導体製造技術の国際会議「IEDM 2011」詳報

 「半導体では長年、わずか数種類の材料と構造を使い続けてきた。ここに来て、多様な材料と構造を融合させて電子機器の進化につなげる時代に移行しつつある。ホモジニアスの時代が終わり、ヘテロジニアスの時代が始まる」─。(59〜67ページ掲載記事から抜粋) *テキスト版記事の文字数:9372文字

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update:19/09/26