日経エレクトロニクス 2015/09号

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コンデンサーをリソで製造 Al電解品の1/1000に小型化
カーボンナノチューブでSiチップに形成

 産業技術総合研究所は、カーボンナノチューブ(CNT)を電極に利用した「CNT集積化マイクロキャパシター(IEDC)」を開発した。IEDCはICに近い工程でSiウエハー上に製造する薄型の電気2重層コンデンサー(EDLC)である。 性能面の特徴は、エネルギー密度、出力…(20〜21ページ掲載記事から抜粋) *テキスト版記事の文字数:2649文字

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産業技術総合研究所
update:18/07/23