日経エレクトロニクス 2017/08号

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東芝が新型の水素センサー、消費電力を1/100以下に
ヒーター不要のMEMSで実現

 東芝は、従来の1/100以下の消費電力で動作する水素センサーを開発した。水素を吸収すると膨張する材料をセンサー膜として使い、膜の膨張で可動電極と固定電極間の距離が変わる機構をMEMSで作った。電極間の距離によって変化する静電容量を計測して水素を検知…(23ページ掲載記事から抜粋) *テキスト版記事の文字数:1123文字

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【記事に含まれる分類カテゴリ】
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【記事に登場する企業】
東芝
update:18/08/06