日経ものづくり 1998/08号

トピックス コンポーネント
安川コントロール,真空用軸受を長寿命化
保持器のPEEK複合材料が潤滑のロングリリーフ役

 安川電機の子会社で制御機器メーカーの安川コントロール(本社北九州市)は,既に発売している真空用軸受*の詳細を明らかにした。この軸受は,ウエハ搬送装置や成膜装置などの半導体製造装置に代表される真空環境下で使う装置向けに開発したもの。保持器に独自の固体潤滑材を採用,寿命が長く発塵(じん)が少ない特徴がある。(60〜61ページ掲載記事から抜粋) *テキスト版記事の文字数:2476文字

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update:19/09/26