日経ものづくり 1998/12号

特集
[0.28nm] ■[種目]レーザスケールの分解能 ■[勝者]ソニー・プレシジョン・テクノロジー

導体製造はμmオーダーの極めて小さな世界。高精度の位置決め装置が必要だ。装置の精度を左右する要素の一つ,テーブルやワークの位置を検出するスケールの分解能はさらに小さい。既にサブnmオーダーに突入している。 スケールのスモールワールドを制したのが,ソニー・プレシジョン・テクノロジー(本社東京)のレーザスケール「超高精度レーザスケールシステム」だ(図1)。(52〜53ページ掲載記事から抜粋) *テキスト版記事の文字数:2182文字

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ソニー・プレシジョン・テクノロジー
update:19/09/26