日経ものづくり 1998/12号

特集
[2ms] ■[種目]気体流量センサの応答性 ■[勝者]山武

武は,1cm/sの超低速流まで測れる高い感度を持ち,応答性が2msと高速の気体流量センサ「マイクロフローセンサ」を開発した(図1)。マイクロチップに小型化したのがミソ。1cm/sの超低速流と言われてもピンと来にくいが,「たばこや線香がくゆる時の煙が10cm/s」(山武の制御機器事業部レジデンシャル事業統括部マーケティング第3部の伊勢谷順一氏)である。(62〜63ページ掲載記事から抜粋) *テキスト版記事の文字数:2013文字

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update:19/09/26