特集
［2ms］　■［種目］気体流量センサの応答性　■［勝者］山武

武は，1cm／sの超低速流まで測れる高い感度を持ち，応答性が2msと高速の気体流量センサ「マイクロフローセンサ」を開発した（図1）。マイクロチップに小型化したのがミソ。1cm／sの超低速流と言われてもピンと来にくいが，「たばこや線香がくゆる時の煙が10cm／s」（山武の制御機器事業部レジデンシャル事業統括部マーケティング第3部の伊勢谷順一氏）である。(62〜63ページ掲載記事から抜粋) *テキスト版記事の文字数：2013文字

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