特集　情報狂時代を「製造」する　ウォータジェット　キャノン
ウエハをはがしてリサイクル
［ウオータジェット］

　デバイスの処理速度を大幅に向上し，かつ省電力化できるとして注目されている次世代半導体ウエハ。それが，SOI（シリコン・オン・インシュレータ）ウエハだ。土台となるシリコン基板の上に絶縁層（一般に酸化シリコン膜）を形成し，さらにその上に薄いシリコン層（SOI層）を形成する。(46〜47ページ掲載記事から抜粋) *テキスト版記事の文字数：1837文字

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