日経マイクロデバイス 2000/03号

NewsLetter LSI(メモリー)
「(111)Si基板を 使うべき」 東北大の大見氏が提言

 長い間使ってきた(100)Si基板に代わり,「(111)Si基板を使うべきだ」と,東北大学未来科学技術共同研究センター未来情報社会創製分野教授の大見忠弘氏が提言した。(111)面を使えば,ホールの移動度が高まってCMOS LSIのチップ寸法を半減できるとする。このアイデアは過去からあったが,Siの(100)面以外では良質なSiO2膜が形成できなかったため実用化されなかった。(148ページ掲載記事から抜粋) *テキスト版記事の文字数:378文字

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東北大学
東北大学未来科学技術共同研究センター(NICHe)
update:19/09/26