ＮｅｗｓＬｅｔｔｅｒ　ＬＳＩ（メモリー）
「（111）Si基板を　使うべき」　東北大の大見氏が提言

　長い間使ってきた（100）Si基板に代わり，「（111）Si基板を使うべきだ」と，東北大学未来科学技術共同研究センター未来情報社会創製分野教授の大見忠弘氏が提言した。（111）面を使えば，ホールの移動度が高まってCMOS　LSIのチップ寸法を半減できるとする。このアイデアは過去からあったが，Siの（100）面以外では良質なSiO2膜が形成できなかったため実用化されなかった。(148ページ掲載記事から抜粋) *テキスト版記事の文字数：378文字

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