日経エレクトロニクス 2000/03/13号

ニュース・ダイジェスト
キヤノンがSOIウエーハの生産能力を5倍に

 キヤノンは,平塚事業所内のSOI(silicon on insulator)ウエーハ生産ラインを増設し,現在2000枚/月の生産能力を1万枚/月まで引き上げる。稼働は2000年10月から。投資額は約20億円である。増産はSOI技術を使ったLSIの需要増加を見越してのこと。1999年秋に技術発表していた「ウォータージェット分離技術」も本格的に導入していく予定。(45ページ掲載記事から抜粋) *テキスト版記事の文字数:250文字

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キヤノン
update:19/09/26