日経マイクロデバイス 2000/05号

NewsLetter LCD
薬液量を1/10以下に できる塗布装置の販売権を 島津製作所が獲得

 島津製作所が米FAS Technologies, Ltd.と提携,FAS Technologiesの塗布装置の日本での販売権を獲得した。韓国,台湾での販売権に関しては交渉中。この塗布装置は,薬液量を従来の1/10以下に削減できる特徴を持つ。従来のスピンコート方式のように基板を回転させずに済むため,1m角を超える大型液晶ガラス基板に対応できる。塗布量の面内均一性は3%以下とする。(170ページ掲載記事から抜粋) *テキスト版記事の文字数:279文字

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島津製作所
update:19/09/26