日経エレクトロニクス 2000/08/28号

新製品ニュース
検出感度0.12nmの高速レチクル検査装置 検査時間は100mm×100mm当たり84分

 NECは,レチクル検査装置市場に参入し,0.15nmルールに対応した「LM5000」を発売した。高集積化の進むプロセサ,DRAM,システムLSIなどのレチクルの欠陥検査に向ける。 紫外線レーザを2本にして同時に欠陥検出を行なう方式と,高速画像処理機能を採用し,レチクルを100mm×100mm当たり84分で欠陥検査できるようにした。(65ページ掲載記事から抜粋) *テキスト版記事の文字数:598文字

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【記事に登場する企業】
NEC
米KLAテンコール社
update:19/09/26