日経マイクロデバイス 2001/03号

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30μmのリード・ピッチに対応 0.12μm向けKrF露光装置 CT機能を搭載 最大3GHzまで対応 価格を約1/2に低減

 30μmのリード・ピッチに対応するTCP(tape carrier package)テープ向けCu張り積層板(図1,図2)。携帯電話向け液晶パネルのカラー化及び高精細化に伴って,TCPテープのリード・ピッチの微細化が求められている。(173〜175ページ掲載記事から抜粋) *テキスト版記事の文字数:3346文字

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update:19/09/26