日経マイクロデバイス 2001/03号

産業ウオッチャ
KrFの次は ArFとの認識が 急速に高まる

 ロジックLSIの製造で,KrFの次はArFが常識となってきた。これまではArFの難しさが目立っていたが, ArFレジストの習熟などによってArFを否定する向きが減っている。(29ページ掲載記事から抜粋) *テキスト版記事の文字数:166文字

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update:19/09/26