日経マイクロデバイス 2001/04/01号

特集 Part3
新材料の量産典型例 FeRAMラインを見る
Part3 量産 スパッタやエッチャを新規開発

 新材料を使ったメモリーLSI量産の典型例を,富士通の岩手工場に見ることができる。富士通は,この工場で強誘電体メモリー(FeRAM)の量産体制を確立し,本誌に対してその全貌を公開した(図1)。導入した新材料に起因する汚染への対策や独自製造装置の導入は,MRAM(magnetic RAM)など新材料を使うLSI量産の進むべき方向性を示す。(80〜83ページ掲載記事から抜粋) *テキスト版記事の文字数:3706文字

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富士通
update:19/09/26