日経マイクロデバイス 2001/04/01号

論文[LSI製造][LCD(ディスプレイ
LSI・LCD製造革新へ第一歩 大気圧下でベルト・コンベアのように
真空を使わないプラズマ技術

 大気圧下で連続的にウエーハを処理できる革新的な生産方式の実現に向けて,真空を使わないプラズマ技術を開発した(図1)。2000年からLSI製造装置の開発・設計会社であるケミトロニクスと共同で作業に取り組んだ成果である(p.142の別掲記事を参照)。元々はプラスチック化成品の分野で培った技術だが,装置を改良することによってLSI・LCD分野を狙う。(139〜146ページ掲載記事から抜粋) *テキスト版記事の文字数:7638文字

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【記事に含まれる分類カテゴリ】
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エレクトロニクス > ディスプレイ製品・技術 > 液晶ディスプレイ技術
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積水化学工業
東北大学
update:19/09/26