日経マイクロデバイス 2001/06号

解説[LCD(ディスプレイ)] 囲み
マスク蒸着装置が急進展 1〜2型の量産化を支える

 量産がいよいよ始まる1〜2型(対角2.5〜5.1cm)のカラー有機EL(electroluminescence)パネルを製造技術面で支えたのが,マスク蒸着装置である。真空チャンバ内で粉体の低分子型有機EL材料を蒸発させ,その蒸気を基板に付着させることによって有機EL層を形成する。カラー化では材料を付着させる際に,マスクを使ってRGBの各ドットをそれぞれ分離できるようにした。(107ページ掲載記事から抜粋) *テキスト版記事の文字数:1590文字

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update:19/09/26