日経マイクロデバイス 2001/06号

新製品ファイル
新製品ファイル
運転コストを半減 広範囲で高速応答 高速のウエーハ検査システム 20GHzで12チャネル エッチングの異物を抑制 光透過率を向上

 運転コストを半減できるクリーン・ルーム向け空気清浄装置(図1)。一般にクリーン・ルーム向けの空気清浄装置では,容器内に取り込んだ外気に純水を循環させながら散布することによって,空気中に含まれる化学汚染物質を吸収・除去し,清浄空気を作る。(164〜166ページ掲載記事から抜粋) *テキスト版記事の文字数:3071文字

この記事をオンラインで読む
買い物カゴに入れる220円
買い物カゴに入れる(読者特価)110円
 特価が表示されない場合は下の (※)をご覧ください

(※) 「読者特価」でご購入の際、日経IDに未ログインの場合は途中で通常価格が表示されることがあります。ご購入画面をそのまま進んでいただき、「次へ(お客様情報の入力へ)」のボタン押下後に表示されるログイン画面で日経IDをご入力ください。特価適用IDであれば、表示が特価に変わります。

関連カテゴリ・企業名
【記事に含まれる分類カテゴリ】
エレクトロニクス > エレクトロニクス設計・製造 > エレクトロニクス製造技術・装置
update:19/09/26