日経マイクロデバイス 2001/07号

インタビュー
「国境超えた協力体制を構築」
次世代の露光開発戦略

問●次世代露光技術の開発に必要な巨額の資金を効率的に集める米EUV LLCの仕組みが世界の注目を集めていますが,そもそもEUV LLCとはどのような組織なのでしょうか。答●EUV LLCは,米独のLSI大手6社で構成するEUV(extreme ultraviolet)露光技術開発に向けたコンソーシアムです。(12〜13ページ掲載記事から抜粋) *テキスト版記事の文字数:3099文字

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【記事に含まれる分類カテゴリ】
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米ブイエル社
update:19/09/26