日経マイクロデバイス 2001/07号

解説[LSI製造] 囲み
「EB露光派は米国にも多い」 実現可能性の高さで先行

 「電子ビーム(EB)縮小投影露光技術に関心を持つLSIメーカーは米国にも多い」。このような認識をニコン取締役 精機カンパニー半導体露光装置事業部長の篠山伸彌氏が示した。(108ページ掲載記事から抜粋) *テキスト版記事の文字数:606文字

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【記事に登場する企業】
米IBM社
米テキサス・インスツルメンツ社
ニコン
米モトローラ社
update:19/09/26