日経マイクロデバイス 2001/09号

インタビュー
「3次元化が新時代を切り開く」
「微細化+α」を先導

答●今までは微細化を追求する半導体プロセス技術の開発に携わってきました。しかし,これまでと同じ早いペースで微細化を続けることに経済的なメリットはないと感じています。私はむしろ,今後の実装技術の中に答えがあると考え,プロセス技術ではなく実装技術を選びました。問●微細化のペースはもっと緩やかにするべきということでしょうか。(20〜21ページ掲載記事から抜粋) *テキスト版記事の文字数:2974文字

この記事をオンラインで読む
買い物カゴに入れる165円
買い物カゴに入れる(読者特価)83円
 特価が表示されない場合は下の (※)をご覧ください

(※) 「読者特価」でご購入の際、日経IDに未ログインの場合は途中で通常価格が表示されることがあります。ご購入画面をそのまま進んでいただき、「次へ(お客様情報の入力へ)」のボタン押下後に表示されるログイン画面で日経IDをご入力ください。特価適用IDであれば、表示が特価に変わります。

関連カテゴリ・企業名
【記事に登場する企業】
東京大学
東京大学先端科学技術研究センター
東芝
東芝セミコンダクター&ストレージ社
update:19/09/26