日経マイクロデバイス 2001/09号

新製品ファイル
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300mmと200mmに対応 測定時間が約1/100 移動速度を1.5倍に高速化 冷凍で部品を固定 画像処理時間を1/3へ 描画時間を約1/2に短縮

 300mmウエーハと200mmウエーハの両方に対応したメモリー・リペア装置(図1)。当初は200mmライン向けに導入し,将来は300mmラインへ転用するといった使い方が可能になり,装置コストを低減できる。300mmと200mmの両方に対応させるため,ウエーハ・ハンドラを新規に開発した。(150〜152ページ掲載記事から抜粋) *テキスト版記事の文字数:3265文字

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update:19/09/26