日経マイクロデバイス 2001/10号

技術レター[FPD]
1000×1200mm2対応の 液晶向け露光装置を キヤノンが発売

 1000×1200mm2基板の全面露光を実現する液晶向け露光装置「MPA—7000」をキヤノンが開発し,9月に出荷を始めた。スループットは,1000×1200mm2基板の場合に15型(対角38cm)パネルで560枚/時,18型(対角46cm)パネルで390枚/時,23型(対角58cm)パネルで250枚/時,32型(対角81cm)ワイド・テレビ向けで130枚/時と高い。(35ページ掲載記事から抜粋) *テキスト版記事の文字数:348文字

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キヤノン
update:19/09/26