日経マイクロデバイス 2001/11号

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「LCD/PDP International 2001」特集 消費電力を1/3に削減 膜厚測定で1台二役 液晶注入時間を短縮 長寿命で高信頼性 各種顕微鏡に装着 輝度ムラを自動全数検査 多機能化と低価格化を両立 75型PDPラインに対応

 消費電力を従来に比べて1/3に削減した低温多結晶Si—TFT液晶向けアニール装置(図1)。通常,アニール装置では内部の温度と清浄度を一定に保つためにフィルタを通じて雰囲気ガスを循環させている。ただ,低温多結晶Si—TFT液晶向けに必要となる500℃の高温雰囲気に耐えられるフィルタは,これまでは存在しなかった。(69〜72ページ掲載記事から抜粋) *テキスト版記事の文字数:4366文字

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update:19/09/26