日経マイクロデバイス 2001/11号

μレポート[LSI製造]
300mmの自動化技術や インターネット利用の 稼働率改善策が相次ぐ
「ISSM 2001」

300mmウエーハ・ラインの完全自動化や装置の稼働率改善を狙った技術開発が加速している。300mm技術で先行している台湾Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd.(TSMC)は,ウエーハ搬送の自動化を進め,競合他社の引き離しを図る。インターネットを利用し装置の稼働率を改善するリモート故障診断技術は,その実力が明らかになってきた。(141〜144ページ掲載記事から抜粋) *テキスト版記事の文字数:4529文字

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関連カテゴリ・企業名
【記事に含まれる分類カテゴリ】
エレクトロニクス > CPU・LSI製品・技術 > IC・LSI
【記事に登場する企業】
台湾・タイワン・セミコンダクター・マニュファクチュアリング社
update:19/09/26