μレポート［ＬＳＩ製造］
300mmの自動化技術や　インターネット利用の　稼働率改善策が相次ぐ
「ISSM　2001」

300mmウエーハ・ラインの完全自動化や装置の稼働率改善を狙った技術開発が加速している。300mm技術で先行している台湾Taiwan　Semiconductor　Manufacturing　Co．，　Ltd．（TSMC）は，ウエーハ搬送の自動化を進め，競合他社の引き離しを図る。インターネットを利用し装置の稼働率を改善するリモート故障診断技術は，その実力が明らかになってきた。(141〜144ページ掲載記事から抜粋) *テキスト版記事の文字数：4529文字

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