日経マイクロデバイス 2001/11号

μレポート[LSI製造]
従来の技術トレンドを 打破する「微細化+α」 具体策が続出
「2001 IEDM」

微細化の追求と,微細化以外の新技術。この二つを組み合わせる「微細化+α」で,従来のトレンドを上回るロジックLSIやメモリーLSIを実現できる。この方向を目指して技術開発が着実に進歩している姿が,12月3日〜5日に米国ワシントンD.C.で開かれる「2001 IEEE International Electron Devices Meeting(2001 IEDM)」で見える。(145〜146ページ掲載記事から抜粋) *テキスト版記事の文字数:3369文字

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update:19/09/26