μレポート［ＬＳＩ製造］　囲み
米Intelの露光戦略　「Dual　Wavelength」を実施

　2年サイクルの微細化を確実に実施するために，露光技術の開発リスクを最小限にする「Dual　Wavelength」戦略を実施していく。これは，既存の露光技術が限界に近付いてきた段階で，既存技術の延命と次世代技術の開発を並行して進める戦略である。こうして，量産段階では完成度やコスト優位性のある技術を選択し，われわれの微細化ペースが露光技術の開発状況に影響されないようにする。(24ページ掲載記事から抜粋) *テキスト版記事の文字数：896文字

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