日経マイクロデバイス 2003/04号

μレポート[LSI製造] 囲み
米Intelの露光戦略 「Dual Wavelength」を実施

 2年サイクルの微細化を確実に実施するために,露光技術の開発リスクを最小限にする「Dual Wavelength」戦略を実施していく。これは,既存の露光技術が限界に近付いてきた段階で,既存技術の延命と次世代技術の開発を並行して進める戦略である。こうして,量産段階では完成度やコスト優位性のある技術を選択し,われわれの微細化ペースが露光技術の開発状況に影響されないようにする。(24ページ掲載記事から抜粋) *テキスト版記事の文字数:896文字

この記事をオンラインで読む
買い物カゴに入れる110円
買い物カゴに入れる(読者特価)55円
 特価が表示されない場合は下の (※)をご覧ください

(※) 「読者特価」でご購入の際、日経IDに未ログインの場合は途中で通常価格が表示されることがあります。ご購入画面をそのまま進んでいただき、「次へ(お客様情報の入力へ)」のボタン押下後に表示されるログイン画面で日経IDをご入力ください。特価適用IDであれば、表示が特価に変わります。

関連カテゴリ・企業名
【記事に含まれる分類カテゴリ】
エレクトロニクス > エレクトロニクス設計・製造 > エレクトロニクス製造技術・装置
【記事に登場する企業】
米インテル社
update:19/09/26