日経マイクロデバイス 2003/04号

連載[マニュファクチャリング]
MEMS技術が広く浸透 新産業の芽が目白押し
MEMS技術で描く夢(前編)

 微小な電気機械システム,すなわちMEMS(micro electro mechanical systems)は,半導体の微細加工技術を基本とした「マイクロマシニング」で作る高付加価値の部品である。回路をはじめ,微細構造体やセンサー,さらにアクチュエータやエネルギー源などを小型に集積化でき,いろいろなシステムのカギを握る要素として使われる1)。(137〜143ページ掲載記事から抜粋) *テキスト版記事の文字数:8014文字

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update:19/09/26