日経マイクロデバイス 2004/02号

Inside Logic
SOIが最先端LSIに急拡大 張り合わせ法が主流に

“永遠の将来技術”といわれたSOI(silicon on insulator)が,最先端LSIの中核技術として急速に広がってきた。それを支えているのが,SOIのウエーハ技術である。最初に登場したのがSIMOX法のSOIウエーハだが,実際に主流になりつつあるのは,それから約20年後に出て来た仏SOITEC社による張り合わせ法のSOIウエーハである。まだ価格が高いことが本格的な普及を阻害している。(57〜59ページ掲載記事から抜粋) *テキスト版記事の文字数:3654文字

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仏ソイテック社
update:19/09/26