日経マイクロデバイス 2004/02号

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「ICMTS 2004」 RF・アナログ混載IC向けTEGなどが話題

 LSIにおけるTEG(test element group)の測定・評価に関する論文を取り扱う国際会議「IEEE International Conference on Microelectronic Test Structures 2004(ICMTS 2004)」が,2004年3月22〜25日に兵庫県で開催される。今回は,一般論文53件と招待論文5件が集まった。主なテーマは次の四つである。(84ページ掲載記事から抜粋) *テキスト版記事の文字数:560文字

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update:19/09/26