日経マイクロデバイス 2004/02号

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NECとNECエレ 5nmトランジスタの 動作に成功

 NECとNECエレクトロニクスは,ゲート長が5nmのトランジスタの動作に成功したと「2003 International Electron Devices Meeting(2003 IEDM)」で発表した。ゲート下端をすぼめてゲート長を短くした。発表者が断っている通り,ここまで微細にしても動作することを示す目的で開発したのであり,諸特性は満足できるレベルにはない。(83ページ掲載記事から抜粋) *テキスト版記事の文字数:470文字

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NEC
ルネサスエレクトロニクス
update:19/09/26