日経マイクロデバイス 2004/02号

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米Intelのメモリー責任者が 「露光技術に依存しないメモリー」 など 新概念メモリーの姿を提言

 米Intel Corp.のStefan K. Lai氏は,『NIKKEI MICRODEVICES』主催の「第2回半導体メモリー・シンポジウム」で,「Recent Trend of NVM Technologies」と題する基調講演を行った。メモリーの微細化を推し進めていく上で,露光技術の限界を意識することが今後はますます重要になるとの見通しを示した。(85ページ掲載記事から抜粋) *テキスト版記事の文字数:551文字

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米インテル社
update:19/09/26