日経マイクロデバイス 2004/07号

Cover Story Part1 次のLSIの競争力
検査に付加価値が集中 装置メーカーは飛躍のチャンス

 先端プロセスの開発と歩留まりの改善に向けた一連の取り組みは,「神の声を聞く領域」と言われている。先端プロセスには,コンピュータ・シミュレーションや化学・物理分野の第一人者でも容易には突破できない壁が存在するためである。プロセス技術者は日々,あるかどうか分からない解を探すために頭を悩ませている。その悩みの解決に一役買ってくれるのが,検査装置である。(32〜33ページ掲載記事から抜粋) *テキスト版記事の文字数:2441文字

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この特集全体
Cover Story 次のLSIの競争力(27ページ掲載)
次のLSIの競争力
Cover Story Part1 次のLSIの競争力(28〜31ページ掲載)
LSI製造力 “作る”から“見る”へ
Cover Story Part1 次のLSIの競争力(32〜33ページ掲載)
検査に付加価値が集中 装置メーカーは飛躍のチャンス
Cover Story Part2 次のLSIの競争力(34〜41ページ掲載)
歩留まり低下の処方せん “見えない欠陥”を観る技術
Cover Story Part3 次のLSIの競争力(42〜49ページ掲載)
遅延時間のチェックが必須に テスト・コスト最適化に各社が知恵絞る
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エレクトロニクス > CPU・LSI製品・技術 > IC・LSI
エレクトロニクス > エレクトロニクス設計・製造 > 検査技術・装置(エレクトロニクス)
update:19/09/26