日経マイクロデバイス 2004/07号

Inside Memory
電子顕微鏡もモバイルの時代へ MEMSで親指大の光学系を実現

持ち運び可能な超小型の走査型電子顕微鏡(SEM)が実現した。MEMS(micro electro mechanical systems)技術を駆使し,SEMを構成するレンズ系や真空ポンプを小型化した。電子顕微鏡は大型,高価で移動不可能という固定概念を打ち壊し,その応用分野を広げる可能性を提示したことになる。(71〜78ページ掲載記事から抜粋) *テキスト版記事の文字数:9768文字

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update:19/09/26