日経ものづくり 2006/01号

詳報 静電チャックの吸着力を
静電チャックの吸着力を20倍向上 TOTO,加熱しない新成膜技術を応用
搬送速度も向上できるし,機械式チャックの代替も狙える

 TOTOは,吸着力を従来比で20倍高めた静電チャックを開発,2005年12月に開催された「セミコン・ジャパン2005」に参考出品した(図1)。静電チャックは文字通り,静電気の力を利用して半導体ウエハーやFPD(フラット・パネル・ディスプレイ)用ガラスなどを吸着し,搬送や固定に使う部品。その吸着力が高まったことにより,適用対象が拡大したり生産効率が向上したりすると期待される。(21〜22ページ掲載記事から抜粋) *テキスト版記事の文字数:2629文字

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【記事に登場する企業】
TOTO
update:19/09/26