新製品　水系透明導電塗料
フリップチップ・ボンディング後の　ICチップも観察・計測可能に
走査型共焦点赤外レーザ顕微鏡

「LEXT　OLS3000−IR」は，ICチップ裏面の3次元形状を高コントラストで観察・計測できる走査型共焦点赤外レーザ顕微鏡。従来の赤外線顕微鏡では困難だった，フリップチップ・ボンディング後のICチップパターンやその裏面，MEMSの内部構造などの観察に向く。SiP（System　in　Package）の非破壊不良解析ツールとしても活用できる。(182ページ掲載記事から抜粋) *テキスト版記事の文字数：400文字

(※)　「読者特価」でご購入の際、日経IDに未ログインの場合は途中で通常価格が表示されることがあります。ご購入画面をそのまま進んでいただき、「次へ（お客様情報の入力へ）」のボタン押下後に表示されるログイン画面で日経IDをご入力ください。特価適用IDであれば、表示が特価に変わります。