日経ものづくり 2006/01号

新製品 水系透明導電塗料
フリップチップ・ボンディング後の ICチップも観察・計測可能に
走査型共焦点赤外レーザ顕微鏡

「LEXT OLS3000−IR」は,ICチップ裏面の3次元形状を高コントラストで観察・計測できる走査型共焦点赤外レーザ顕微鏡。従来の赤外線顕微鏡では困難だった,フリップチップ・ボンディング後のICチップパターンやその裏面,MEMSの内部構造などの観察に向く。SiP(System in Package)の非破壊不良解析ツールとしても活用できる。(182ページ掲載記事から抜粋) *テキスト版記事の文字数:400文字

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update:19/09/26