日経エレクトロニクス 2006/04/24号

New Products レーザ変位計
分解能が20pm,MEMS開発に向ける

 岩通計測は分解能が20pmと小さいレーザ変位計「ST−3761」を発売した。圧電素子やHDDの周辺部品など,微小な変位を伴う制御状況を観察するために用いる。周波数がわずかに異なる信号光と参照光による光の干渉を検出するヘテロダイン方式を採用する。干渉を利用するので,外部からの光の影響を受けにくいという。最高分解能は測定レンジ0.1μm/Vの場合に20pm。(46ページ掲載記事から抜粋) *テキスト版記事の文字数:464文字

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【記事に登場する企業】
岩通計測
update:19/09/26