日経マイクロデバイス 2010/01号

Emerging Technology
MEMS加速度センサー,1000倍高感度に

 MEMS加速度センサーを既存製品に比べて1000倍高感度にする技術が登場した。米Hewlett-Packard Co.が開発した。高感度化できたのは,新構造を採用したためである。 新構造は,3枚のSiウエーハを接合して実現する(図1)。加速度が生じた際に動く重りは,上下2枚のウエーハに挟まれた中央のSiウエーハに形成している。(9ページ掲載記事から抜粋) *テキスト版記事の文字数:736文字

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【記事に登場する企業】
米ヒューレット・パッカード社
update:18/07/26